Conception, simulation, fabrication, caractérisation et applications de microsystèmes optiques.
Caractérisation optique (spectrométrie de 500nm à 2μm), mécanique (déformation modale, rugosité de surface) et électrique.
Profilométrie optique environnementale, vibromètre laser, table rotative environnementale pour caractérisation d’accéléromètres et de gyroscopes, refonte de verre par laser CO2
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Laboratoires et équipements spécialisés
Équipement |
Fonction |
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Interféromètre à lumière blanche (Fogale Photomap 3D) avec résolution verticale sous nanométrique et options dynamique (100 Hz – 2 MHz) et environnementale (10 – 1 millibar; - 30ºC à + 100ºC) |
Mesure de topographie/rugosité sans contact |
Source supercontinuum (Leukos SM-20) 400 à 2200 nm; > 10 microW/nm |
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Spectromètre (Acton Research Corporation SpectraPro-2750) |
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Camera IR InGaAs (VDS Vosskühler NIR-610PGE) |
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Source large bande (Newport BBS-430) 1520-1620nm; 13dBm |
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Analyseur de spectre optique (Agilent 86140A) |
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Soudeuse à fibres optiques (Fitel S182A) |
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Laser accordable (Agilent 81600B # 200) 1440nm à 1640nm |
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Capteur de puissance optique à haute sensibilité (Agilent 81634B) –110 dBm à +10 dBm |
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Analyseur de dispersion (Agilent 86038B) |
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Table rotative Ideal Aerosmith 1291BL |
Caractérisation d’accéléromètres et de gyroscopes (avec chambre environnementale) |
Vibromètre Laser à Balayage Polytec MSA-500-PM2-20-D |
Caractérisation mécanique dynamique modale |
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