Installation de nanofabrication Western

Université Western, London, Ontario
Que fait l'installation

Nanofabrication, caractérisation des matériaux, dépôt de matières, caractérisation de surfaces, fabrication de dispositifs

Domaines d'expertise

L’installation de nanofabrication Western fournit les techniques et l’expertise nécessaires pour concevoir et fabriquer des dispositifs micrométriques et nanométriques, puis pour les caractériser à l’aide d’un ensemble d’outils cohérent.

Services de recherche

Fabrication de dispositifs, caractérisation, faisceau ionique focalisé, préparation d’échantillons pour MET, dépôt de matières, gravure ionique réactive profonde, salle blanche, installation MEB, tournette de dépôt, profilométrie

Secteurs d'application
  • Aérospatial et satellites
  • Automobile
  • Défense et industrie de la sécurité
  • Énergie (renouvelable et fossile)
  • Fabrication et transformation
  • Mines, minerais et métaux

Nom du laboratoire spécialisé

Nom de l’équipement

Résumé de la fonction

Microscope électronique à balayage (MEB)

LEO 1530

Microscope électronique à balayage

Microscope électronique à balayage avec capacités de faisceau ionique focalisé et d’analyse élémentaire

LEO 1540

Dispersion par rayons X, gravure par faisceau ionique focalisé pour la caractérisation d’échantillons

Tournette de dépôt

CEE

Dépôt de matières organiques en couches minces

Dépôt de matières en phase vapeur

 

Dépôt d’oxydes et de métaux

Dépôt par faisceau d’électrons

 

Dépôt d’or, de titane et d’argent

Profilomètre

Tencor

Caractérisation de surface

Ellipsomètre

Woolam Vase

Ellipsomètre multilongueurs d’ondes et multiangles

Four HDMS

 

Évolution de l’hydrophobicité de la surface

Aligneur de masques

Karl suss, MJB3,

 

Bain galvanoplastique

 

 

Cuve de Langmuir‑Blodgett

KSV

Dépôt de film monocouche

Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma STS

 

Dépôt de silice, de nitrure de silicium et d’oxynitride de silicium

Gravure ionique réactive STS

 

 

Appareil Aura Oxygen Plasma Asher de Gasonics

Gasonics

Décapage de résine photosensible en aval contrôlé par microprocesseur

Gravure ionique réactive profonde Alcatel 601

Alcatel

Ce système grave des motifs à l’échelle du micron dans la silicone 

Microscope optique

Zeiss

Microscope optique pour l’inspection visuelle des échantillons et des surfaces

Microscope StéréoZoom

Leica MZ12.5

Microscope StéréoZoom

Nettoyeur UV-Ozone

 

Ultranettoyage de la surface par exposition aux rayons UV-ozone

Salle blanche de classe 100 et 1000

 

Préparation d’échantillons en salle blanche dans des conditions extrêmes

Salle grise pour la préparation d’échantillons standards

 

Préparation d’échantillons en salle blanche dans des conditions moins exigeantes

  • Scisense Inc.
  • Sciencetech Inc.
  • University of Western Ontario
  • University of Waterloo
  • Université de Montréal
  • Université Laval
  • University of Toronto
  • University of Windsor
  • McMaster University

Titre

URL

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